超高纯气体是一种非常特殊的工业级气体制品，其纯净度远超普通的气体。这种高精度、高质量的特种工艺用惰性保护气氛和氢等混合混合使用在电子元件和高精密部件制作业中广泛地应用着,也广泛应用于真空镀膜技术中的辅助材料及还原剂以及原子能工程用的充示氮等等领域里边
以稀有金属为例：如氖-氪（NeKr）组合的四氟化錋(C6F14)为载体的四氯化铂 (PtCl2),具有对金/银微粒表面的吸附能力强优点；另外氦 He 氩 Ar 二氧化碳 CO2 等各种不同种类的特殊的高品位干燥空气也被用作该类项目的抽空解吸提供必要的条件 。
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